加  工

試 料 調 整

成  膜

表 面 計 測

材 料 評 価

レーザマーカ(CO2, ファイバー)

パルスNd:YAGレーザ

Contimuum PrecisionII9100

波長 1064nm(4倍波まで可)

パルス幅 9ns

周波数   10Hz

精密研磨盤

プラズマ放電焼結機

誘導加熱炉

電気炉

赤外線加熱炉

UVオゾン洗浄機

電子ビーム励起プラズマPVD

パルスアークプラズマ蒸着装置

ULVAC

 

走査型プローブ顕微鏡

SII Nanocute(2012)

自己検知式・光てこ式,

AFM,DFM,FFM,Phase

最大測定エリア150μm

接触式表面粗さ計

ミツトヨ サーフテストSV-624

測定距離範囲 200mm

測定高さ範囲 600μm

測定力    0.4gf

表面形状測定顕微鏡(レーザ式)

KEYENCE VF-7510

レンズ倍率 ×250~2500

高さ測定範囲 2mm

高さ分解能  0.01μm

走査型電子顕微鏡

HITACHI S-2400

倍率 ×20~300,000

 

ボールオンディスク摩擦試験機

マイクロビッカース硬さ試験機

Akashi

紫外可視分光分析器

日本分光 V-550

波長範囲  190~900nm

TG/DTA