高機能アモルファスカーボン膜

高機能アモルファスカーボン膜

（担当：平田　敦）

アモルファスカーボンは，高潤滑性，高化学的安定性，高機械強度を有する薄膜材料です．本研究室では，電子ビーム励起プラズマPVD法やRFマグネトロンスパッタ法，HiPIMS法により硬質なアモルファスカーボン膜を成膜しています．また，主に潤滑を応用先として，蛍光による摩耗検出機能を有する複合薄膜や，微量な金属元素を添加することで低電気抵抗率を有し除電可能な薄膜の実現，また剥離を抑制するために基板にナノレベルの微細孔を施すなどの高機能化を目指しています．