Carbide Derived Carbonのレーザ形成
（担当：平田 敦）
レーザにより炭化ケイ素表面に高潤滑な炭素層を局所的に形成し，マイクロトライボロジー特性に優れた表面としています．この技術を応用し，高温で高速駆動するマイクロマシンの実現が期待されています．
SiC表面に生成した炭素膜の摩擦特性
Carbide Derived Carbonのレーザ形成
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