ナノ炭素材料による超精密研磨

ナノ炭素材料による超精密研磨

(担当:平田 敦)

ナノ炭素材料(カーボンオニオン,ナノダイヤモンド)を砥粒とした,超精密研磨手法について研究を行っています.ナノダイヤモンドはその硬度とサイズを活かし,研磨速度と到達表面あらさの両面で優れた研磨性能を示しますが,微小な傷を残す欠点があります.一方,本研究室で提案しているカーボンオニオン砥粒では,対象が硬質な炭化ケイ素であっても砥粒性能を発揮し,微小な傷の発生を抑制する効果もあります.また,このカーボンオニオン砥粒をより有効に活用するための研磨装置の設計,製作も行っています.

カーボンオニオンによって研磨されたSi表面のSPM像

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