ナノ炭素材料による超精密研磨

ナノ炭素材料による超精密研磨

（担当：平田　敦）

ナノ炭素材料（カーボンオニオン，ナノダイヤモンド）を砥粒とした，超精密研磨手法について研究を行っています．ナノダイヤモンドはその硬度とサイズを活かし，研磨速度と到達表面あらさの両面で優れた研磨性能を示しますが，微小な傷を残す欠点があります．一方，本研究室で提案しているカーボンオニオン砥粒では，対象が硬質な炭化ケイ素であっても砥粒性能を発揮し，微小な傷の発生を抑制する効果もあります．また，このカーボンオニオン砥粒をより有効に活用するための研磨装置の設計，製作も行っています．